晶圆缺陷检测与分类的卷积神经网络
晶圆缺陷检测与分类的卷积神经网络;针对晶圆检验时扫描电镜图像的缺陷检测和缺陷分类两问题,采用了“ ZFNet”的卷积神经网络来分类晶圆缺陷,并基于该分类器实现了一种“基于块的卷积神经网络”缺陷检测算法。为了提高准确率和加快速度,又改动“更快的区域卷积神经网络”实现了另一种检测算法。第卷第期邡鑫,史峥:晶圆缺陌检测与分类的卷积神经网络ZENet classifierDarker ImIn.ril” HumpBitel检测算法示意图在训练检测器时,数据集是检测器原始尺寸的图像,且包含标记好的缺陷区域和类型。我们结构通过·系列数据扩张操作,得到组数据,随机选取相比于检测算法主作为训练集,作为测试集。要从以下三方面进行了针对性的改进算法中需要优化的参数有滑动窗口尺寸滑()针对重复计算卷积的缺点,采用先动步幅、概率阙值、面积阙值,由于无法求出统一计算特征图,再按)进行映射各参数与检测结果的明确关系式,所以采用遍历法优化参截取的办法。如图,先通过卷积网络(数。因为检测到的缺陷尽量正确和尽量检测到所有缺陷是)对输入图像计算得到其特征图,因为在输入图像矛盾的,故以精确率和召回率的调和平均值作为优上的都能映射到特征图上,所以从输入图像上按化目标,也可根据实际需要调整两者权重满足不同侧重。割取图像进行卷积运算可以替代为直接从特征图上按测试结果映射后的范围割取,从而避免多次重复计算卷积。由于用训练好的检测模型对测试集检的大小形状不·,而全连接层的神经元连接数是固定的,测,计算模式下每张图大概耗时如果检测到的缺所以对割取得到的子特征图,通过层次采样到统陷与标准答案的且类型相同,则判为正确,否尺寸以连接到全连接层。则判为错误。得到结果如表,计算得:laut Image精确率Feature Map召回率ROI其屮正确缺陷的平均表检测器测试结果数量正确错误network有缺陷(正类)图映射示意图从检测结果来看该算法基本实现∫对图像上晶圆()针对滑动窗口尺寸单·的缺点,增缺陷的检测和分类,但是值较低,缺陷检测位置不加了滑动窗口的尺寸类型,并且增加由一个全卷积网络准确,检测耗时较长,分析其原囚如下)组成的()检测出错的数据中,缺陷较大的类型易判断错,)来预判断是否有缺陷。本文采用面积缺陷较小的容易被漏掉,说明只使用一种尺寸的滑动框很分别为,长宽比分别为、共难适应尺寸变化范围较大的缺陷种尺寸的滑动窗口,依次计算其中有缺陷的概率,再从中)滑动框步幅减小则算法耗时平方倍增加,而步幅筛选出一定数量最有可能有缺陷的区域,进行非极大值抑过长造成缺陷概率分布图分辨率较差,从而检测到缺陷位制(),最后得到一定数置准确度较差量的候选区域。()相邻滑动框都有大量重叠,所以每个区域都被多()针对缺陷检测位置准确度差的缺点,次重复送入计算卷积,导致算法耗吋较长。在全连接层后连接一个边界回归层在与上述检测算法相似的图像目标检测领域,近来出用来修正缺陷位置,该回归层与分类层并列。现的很好的克服了以上缺点并取得了很好的针对本文的缺陷检测问题,直接套用标准效果,所以下面介绍如何通过改动实现品圆并不能解决问题。因为判断晶圆的缺陷类型通常需缺陷的检测与分类。要结合缺陷区域周围的图形信息,而在预判断是否有C1994-2017ChinaAcademicJournalElcctronicPublishinghOusc.Allrightsrescrved.http://www.cnki.nct计算机工程年月日缺陷吋还进行了边界回归。虽然更加准确的给出缺陷的位()将原尺寸为的图像调整为置,但送入检测网络的特征儿乎不包含缺陷周围图肜信息,使得滑动窗口尺寸能够适应缺陷大小的变化范围,也可以导致缺陷分类不准。故木文对标准徹了一些根据实际情况来具体调整。改动:得到缺陷检测算法如图,卷积网络(()将改为只判断滑动窗口内是否有缺陷,而,)将输入图僚转换成多种特征图;根据不进行边界回归,也就是只计算所有滑动窗口有缺陷的概特征图从滑动窗口中选出最有可能存在缺陷的率,选取可能性最大的个,做非极大值抑制,再选出层根据特征图中抽取出对应特征组成特可能性最大的个进行检测。征向量;检测网络()根据特征向()将卷积层的尺寸加大为,加大感受野量判断缺陷类型,并进行边界回归;最后通过和概率),从而在判断滑动框內是否有缺陷吋能参阈值对候选缺陷进行过滤即可得到最终缺陷。考更多的周围信息。Detection NetworkonFolutionnl actorSoftmaxRuI Puling liver,e Prop卟 edMS+PrubilitessionInput Image 1024*1024Fully 10 dyercrectCcrvchrionalLaver size 747图检测算法示意图模型训练和平均值作为优化目标,并且使用相同的训练集和图中的检测算法也是基于架构实现,因为卷测试集积网络提取的特征类型对相似普遍有效,故其卷积网络的测试结果参数是直接迁移第章分类器的卷积层参数。但是用训练好的检测模型对测试集检测,和的参数则需要通过方法进行训练,标准计算模式下每张图大概耗时,采用相同判定标准,提供了分开和联合两种训练方式。为了节约得到检测结果如表(其中负类总数与表中总数不同是因时间,本文采用联合训练方式,并结合缺陷检测问题的实为同一张图屮可能检测到多个缺陷),计算得际情况调整超参数精确率在训练时,对每张输入图像,要计算的滑动窗口召回率数量庞大(种尺寸的滑动窗口,滑动步幅)。所以从中随机抽取个作为训练集,其中正例其中正确缺陷的平均负例,且正例占比不超过。分类器采用表检测器测试结果损失函数数量正确错误在训练时,设置提供个,从中随有缺陷(正类)机选取个作为训练集,其屮正例无缺陷(负类)负例,且正例占比不超过。另外设置学从结果来看该算法各方面都优于检测算习率分类器采用损失函数,而边界回法和值更高说明检测检测缺陷类型正确归采用函数。且位置准确,而且速度也大大提高(检测一张图像耗时从为了与检测算法对比,在最后通过遍历法缩小到)。如图为检测缺陷示例,共中标注了缺陷优化和概率阈值时,同样以精确率和召回率的调位置、类型和对应概率C1994-2017ChinaAcademicJournalElcctronicPublishinghOusc.Allrightsrescrved.http://www.cnki.nct邡鑫,史峥:晶圆缺陷检测与分类的卷积神经网络I I图检测结果示例图结束语而对图像上的缺陷检测和缺陷分类这两个问题,本文提出的改动后的检测算法能够精准、快速地从图像中检测出缺陷并同吋进行分类。得益于卷积神经网络良好的特征学习能力,该检测算法能够根据标记好缺陷位置和类型的数据自动学习特征,从而尽量避免人工千预,使算法具有较强的适应能力。参考文献徐姗姗刘应安徐昇基于卷积神经网络的木材缺陷识别山东大学学报工学版刘云杨建滨王传旭基于卷积神经网络的苹果缺陷检测算法电子测量技术江帆刘辉王彬等基于模型的图像识别计算机工程C1994-2017ChinaAcademicJournalElcctronicPublishinghOusc.Allrightsrescrved.http://www.cnki.nct
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智能制造——数字化工厂
从智能工厂到智能生产,数字化工厂的层次分析及应用案例全球产业价值分配附加值微笑曲线价值链技术与资本密集劳动密集信息与管理密集全球产业价值链The Third Industrial Revolution第三次工业革命当前,第三次革命正在展开,这就是制造业的数字化。制造业数F i字化为传统制造业的面貌和生产方式正在带来巨大改变Bret Ryder我们传统的工厂是从设计到开模生产,需要投入大量设备、资金和人力,如今有了三维印制机,只要在电脑上设计,就可三维打印出零部件和产品,包括航空航天、汽车摩托车、各种装备等复杂产品的精密零件及各种生活和工业用品,这种新型工艺的应用具有无限可能,并可大幅降低制造的门槛。计算机软件、新型材料、更灵活的机器、新工艺(特别是三维打印),以及网络上提供的各种软体服务,这些新科技的汇聚使工厂将逐渐告别大批量生产,进入完全客户化定制,以更低的成本、更高的效率和质量生产更多样化的产品,满足不同顾客的不同需求。所有革命都要进行一场惨烈的淘汰,不会以人的意志为转移。第三波工业革命,×也不例外,就像之前两波工业革命都曾淘汰若干行业和劳工,未来制造业势必再出现一场优胜劣败的大洗牌,工厂需要的劳工将越来越少,但需要更高的技能。当工厂需要的劳工减少,工资占生产成本的比重也会降低,从而改变目前到工资低的海外国家设厂的模式,跨国企业将逐渐把工厂搬回国内,以便设计人员能够和生产线更密切合作,同时更能贴近客户并迅速回应其需求。先进发达国家的应对策略2009年1月,美国邛BM公司提出了“智慧地球( Smarter planet)"概念。2009年4月,新西兰政府推出了《新西兰数字战略2.0》>2009年6月,英国出台了“数字英国( Digital Britain)”战略。>2009年7月,日本推出了《- Japan战略2015》>2009年9月,韩国出台了红IT韩国未来战暗》研究。>2010年5月,欧盟推出了《信息化战略行动计划》以应对当前欧盟的金融危机。2010年,奥巴马政府签署规模为170亿美元的《美国制造业促进法案》;2011年6月,又启动了美国《先进制造伙伴》计划2011年4月,德国首次提出了《工业4.0》发展战略,旨在支持工业领域新一代革命性技术的研发与创新,提高德国工业的综合竟争力T。 ra smarte冒aetimtlememtays she.OrSIRIRTA欧盟“信息化战略行动计划”欧盟“信息化战略行动计划”是欧洲数字计划七项旗舰举措中的一项,可促进经济的明显增长,使社会各领域都能享受数字时代带来的快捷和便利。增强数字化文化技能应用信息和通信技术应对和包容性气候变化和人口老龄化信息化战略行动计划七大领域更强的互操作性更多的研发投资增强互联网的信任度更快的互联网接入和安全性统一数字市场的建立美国“先进制造伙伴”计划为了巩固制造业竞争优势并确保其在世界制造强囯中的领先地位,美囯提出并启动了“先进制造伙伴( Advanced Manufactur ing Partner ship)”计划,并投入5亿美元推动这项工作。主题词:3D打印、物联网、制造回归、先进材料、新一代机器人、自动化生产线、节能制造工艺2029年1月人工奥巴马发表美写2013年2月济要让已2014年8月奥巴马国智魘唱长机出工出台《造德驾台支提发动唱长的声明量促进作仅悍计见印素重振美国制告业211年月21年】月选力公室出台【美国奥已马提出键出台《想新战:设全美想遇业3D打印机圈人美西皇保护我们为出胃络针复呢》是济增长机将打情咤需】为方之工业4.0—一从智慧工厂到智能生产信息物联系统a Industry 4.0德国高科技战略计划首位电子、IT、工复杂程业机器人工业革命4度电力广泛应用工业革命30工业革命20茶汽机1784工业革命1018世纪末20世纪初时间工业4.0——从智慧工厂到智能生产a Industry 4.0国高科技战略计划首位“工业4.0”研究项目由德国联邦教硏部与联邦经济技术部联手资助,在德国工程院、弗劳恩霍夫协会、西门子公司等德国学术界和产业界的建议和推动下形成,并已上升为国家级战略。德国联邦政府投入达2亿欧元运 Fraunhoferi acatechNATIONAL ACADEMY OFSCIENCE AND ENGINEERINGSIEMIENS
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